下载一种快速检测LDI设备状态的方法的技术资料

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本发明公开了一种快速检测LDI设备状态的方法,属于PCB板曝光技术领域。通过软件自带工具曝光一张包含M行*N列的矩阵点的检测图形,用对准相机测试其曝光点的位置与理论位置比对,并自动对测试数据进行分析,检测设备是否存在问题,快速定位问题点,例...
该专利属于江苏影速集成电路装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏影速集成电路装备股份有限公司授权不得商用。

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