下载一种单晶炉用石英加料器的技术资料

文档序号:36065849

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本实用新型公开了一种单晶炉用石英加料器,包括石英筒(1),其上部连有上石英法兰(2)和上四氟法兰(4)、中部连有中石英法兰(3)和下四氟法兰(5);上石英法兰(2)的上表面与石英筒(1)的上沿齐平,上四氟法兰(4)的外径大于上石英法兰(2)...
该专利属于包头美科硅能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过包头美科硅能源有限公司授权不得商用。

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