下载载具沉积物清洁装置的技术资料

文档序号:36059899

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本实用新型提供了一种载具沉积物清洁装置,涉及载具清洁技术领域,缓解了现有技术中存在的传统方法清洁载具清洗周期长、清洗工艺复杂,影响后续产品的产能的技术问题。本实施例提供的载具沉积物清洁装置,包括用于支撑载具的主体、相机构件、激光构件、第一导...
该专利属于苏州迈为科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州迈为科技股份有限公司授权不得商用。

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