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表面浮雕光栅衍射光波导的母版制作方法、光波导和设备技术
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文档序号:36047644
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本申请属于增强现实技术领域,具体涉及一种表面浮雕光栅衍射光波导的母版制作方法、光波导和设备,其中的方法包括:在基板表面形成正性光刻胶层,得到具有均匀光刻胶掩膜的基板;该具有均匀光刻胶掩膜的基板上设有目标结构区域,使用光刻掩膜板遮挡目标结构区...
该专利属于北京至格科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京至格科技有限公司授权不得商用。
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