下载表面浮雕光栅衍射光波导的母版制作方法、光波导和设备的技术资料

文档序号:36047644

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本申请属于增强现实技术领域,具体涉及一种表面浮雕光栅衍射光波导的母版制作方法、光波导和设备,其中的方法包括:在基板表面形成正性光刻胶层,得到具有均匀光刻胶掩膜的基板;该具有均匀光刻胶掩膜的基板上设有目标结构区域,使用光刻掩膜板遮挡目标结构区...
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