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本实用新型提供的漏气检测装置及半导体工艺设备，漏气检测装置用于检测管路接口与其两端连接的两个管路的连接处是否漏气；漏气检测装置包括：可拆卸连接的两个腔体，腔体包括相连通的第一空腔和第二空腔，第一空腔用于放置指示剂颗粒，至少一个腔体中的第二空...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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