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本发明涉及等离子抛光的技术领域，更具体地，涉及一种等离子体抛光工件的方法及装置，等离子体抛光工件的方法包括如下步骤：将待抛光工件置入抛光真空室内的工件架上，并将抛光真空室抽真空；向真空室内通入惰性气体至真空室内气压达到设定值；对待抛光工件进...
该专利属于珠海鑫泽瑞科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海鑫泽瑞科技有限公司授权不得商用。

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