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实施方式提供一种提高形成在对象物的图案的位置偏移量的算出精度的测量装置、测量程序及测量方法。实施方式的测量装置为测量形成于对象物的表面的图案的位置偏移量的测量装置。测量装置具备：测定部，测定通过对形成第1图案后且形成第2图案前的对象物照射光...
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