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本实用新型提供一种刻蚀用装片治具，包括上盖和与上盖转动连接的下盖，其中：下盖包括底座以及设于底座上的多个支撑凸台，支撑凸台的侧壁开设有贴合台阶，多个贴合台阶围合成一容纳空间，容纳空间上设有用于装片的夹持组件,夹持组件包括上夹片和与上夹片对应...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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