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一种公开的质量流量计/控制器包括：流管，所述流管用于将流体从所述流管的入口引导至所述流管的出口；致动器，所述致动器用于在所述流管中引起振动；光源，所述光源用于发射光；至少一个分束器，所述分束器用于将由所述光源发射的所述光分束成第一光束和第二...
该专利属于伊利诺斯工具制品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊利诺斯工具制品有限公司授权不得商用。

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