下载最小化横向激发的薄膜体声波谐振器中的应力的电极几何形状的技术资料

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声波谐振器装置包括附着到基板的压电板。压电板的一部分形成悬置在基板中的空腔上方的振膜。第一导体级包括:第一叉指式换能器(IDT)一级母线和第二IDT一级母线,沿振膜的相对侧设置;以及第一IDT指集合和第二IDT指集合,分别从第一母线和第二母...
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