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本发明提供一种加工设备，用于对碳化硅材料进行减薄，其包括基座、加工组件、及加工平台。加工组件设置于所述基座，其激光器发出的脉冲激光经过所述扩束器进行扩束后进入所述光束整形器，经过所述光束整形器整形的脉冲激光依次经过所述第一反射镜、第二反射镜...
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