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一种硼扩散制结的方法技术
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文档序号:35938291
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本发明提供了一种硼扩散制结的方法,所述方法包括以下步骤:(1)制绒后的硅片在扩散装置中通入O2进行表面氧化;随后在扩散装置中通入携带硼源的小N2与O2反应,同时通入大N2将硼源和O2运输到硅片表面,在硅片表面进行BSG预沉积,完成后调整O2...
该专利属于横店集团东磁股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过横店集团东磁股份有限公司授权不得商用。
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