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本发明涉及机械技术领域。一种改善CVD颗粒不良以及污染不良的方法，包括如下步骤：步骤一，将6寸片盒摆放至中转清洗花篮内；中转清洗花篮包括前后设置的前侧板以及后侧板，前侧板以及后侧板之间通过连接杆相连；前侧板以及后侧板的内壁上开设有用于纵向插...
该专利属于上海中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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