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本发明提供了一种高纯磷烷氮气混合气的分析装置，包括三个气动十通阀，五个气动六通阀，两个氦离子化检测器，载气主管分为第一至第九载气支管，四个定量环，九个色谱柱。本发明通过一次进样，经阀切换，色谱柱分离后，可完成高纯磷烷氮气混合气中各种微量杂质...
该专利属于中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司授权不得商用。

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