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一种纳米尺寸的高速神经形态器件及其制备方法技术
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文档序号:35912965
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本发明一种纳米尺寸的高速神经形态器件及其制备方法。该器件包括:衬底;顶部沟槽,形成在衬底正面;下层电极,其覆盖顶部沟槽的底部、侧壁并延伸覆盖衬底表面;氧化物功能层,形成在所述下层电极上;粘附层,形成在所述氧化物功能层上;顶层电极,形成在所述...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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