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本实用新型涉及一种刻蚀机台，所述刻蚀机台包括：工作腔室；窗口，设置在所述工作腔室的侧壁上，与所述工作腔室的侧壁密封连接，其中所述窗口包括抗污层，且所述抗污层设置在所述窗口靠近所述工作腔室的一侧；以及检测机构，设置在所述窗口远离所述工作腔室的...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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