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本申请提供的集成于超构透镜的光阑及膜系的制备方法，在基底表面制备超构透镜结构材料膜层，在所述基底的背面镀功能性膜系，在所述基底的正面涂覆光刻胶层，在所述光刻胶层上制备光刻胶掩膜及对准标记掩膜，将所述光刻胶掩膜转化为金属掩膜，在所述超构透镜结...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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