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一种系统包括真空卡盘；和胶带。所述胶带包括柔性聚合物基板；和设置在所述柔性聚合物基板上的粘合晶粒捕捉膜，其面向所述柔性聚合物基板的前表面。所述胶带通过施加至所述柔性聚合物基板的后表面的吸力保持在所述真空卡盘上。盘上。盘上。
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该专利属于库力索法荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过库力索法荷兰有限公司授权不得商用。

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