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本发明提供一种检测设备，其中，所述检测设备包括：发光装置、收集装置、空间滤波器和探测组件；发光装置，用于产生照射待测物的入射光，所述待测物表面具有图案标记，所述图案标记包括条纹标记，所述条纹标记包括同一方向重复排列的多个条纹，所述入射光经所...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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