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本发明涉及人工智能领域，公开了一种碳化硅涂层石墨盘的表面缺陷检测方法及装置，用于提高碳化硅涂层石墨盘的检测准确率。所述方法包括：将每个温度检测节点对应的检测图像输入预置的碳化硅涂层检测模型进行表面涂层检测，得到每个温度检测节点对应的碳化硅涂...
该专利属于深圳市志橙半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市志橙半导体材料有限公司授权不得商用。

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