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深圳安森德半导体有限公司
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具有屏蔽栅沟槽结构的超级结半导体功率器件制造技术
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文档序号:35832963
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本发明公开了一种新型的屏蔽栅沟槽(SGT)式超级结(SJ)MOSFETs,所述的SGT SJ MOSFET具有位于氧化层电荷平衡(OCB)区的第一类型多阶梯外延(MSE)结构,以及位于SJ区的第二类型MSE结构,以降低器件的比导通电阻(Rs...
该专利属于深圳安森德半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳安森德半导体有限公司授权不得商用。
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