下载用于导电型碳化硅晶片的电流加热装置的技术资料

文档序号:35792983

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开一种用于导电型碳化硅晶片的电流加热装置,包括电源控制模块、测温单元、第一电极、第二电极及托盘结构,托盘结构上设有容置槽,第一、第二电极分别对应于托盘结构的中心和边缘设置,且第一、第二电极分别电连接于电源控制模块的正负极,测温单...
该专利属于东莞市天域半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市天域半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。