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本申请公开了一种四腔薄膜反馈式静压导轨滑块。该四腔薄膜反馈式静压导轨滑块包括滑块本体、第一薄膜反馈装置以及第二薄膜反馈装置。滑块本体上设置有进油口、保压油腔、前侧油腔、举升油腔、后侧油腔、第一返流通道、第二返流通道、第三返流通道、第四返流通...该专利属于中国机械总院集团海西(福建)分院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国机械总院集团海西(福建)分院有限公司授权不得商用。
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