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为了确定光学系统的、在由光学系统的待测量光瞳内的照明光照明时的成像质量和/或为了确定测试结构的相位效应，在光学系统的物平面中初始地布置在至少一个维度中周期性的测试结构。指定用于用初始光瞳区域照明测试结构的初始照明角度分布，初始光瞳区域的面积...
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