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本实用新型涉及外延炉技术领域，具体公开了一种外延炉反应腔的自动清洗装置，该装置包括反应室组件，所述反应室组件内设有水平延伸设置的反应腔，所述反应腔与导气组件一端连通，所述导气组件另一端通过切换阀或电磁阀与供气组件及远程等离子体发生装置连接，...
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