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费勉仪器科技上海有限公司
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真空轨道调节装置及真空系统制造方法及图纸
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文档序号:35724037
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本公开提供了一种真空轨道调节装置及真空系统,真空轨道调节装置包括:连接件,用于与真空腔密封连接;可形变组件,与连接件连接;以及轨道承载件,与可形变组件连接,用于承载真空轨道,以在可形变组件的带动下对真空轨道进行调节。行调节。行调节。
该专利属于费勉仪器科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过费勉仪器科技(上海)有限公司授权不得商用。
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