下载一种铂膜热流传感器基底热物性参数检测方法及装置的技术资料

文档序号:35688044

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本发明公开了一种铂膜热流传感器基底热物性参数检测方法及装置,步骤S1、利用甘油浴和空气浴进行双标定对照推导出铂膜热流传感器的基底热物性参数的标定表征式,以消除非均匀薄膜的影响和薄膜表面积的测定不准的影响实现标定精度的提高;步骤S2、在甘油浴...
该专利属于中国科学院力学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院力学研究所授权不得商用。

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