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本发明公开了一种基于色品坐标测量获得薄膜厚度的方法。本发明采用光纤导光、光栅以及面阵列探测模式，获取样品的光谱信号，根据反射谱与色品坐标的换算关系，计算出待测样品的色品坐标。通过理论计算获得薄膜的色品坐标与厚度的完整映射关系，对比实测色品坐...
该专利属于复旦大学义乌研究院所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学义乌研究院授权不得商用。

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