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本申请公开了一种高低温老化炉腔的风道系统，用于提升对带热负载进行老化测试的高低温老化炉腔的温度均匀性。本申请包括：风流换向器与风机连接并与第一风道以及第二风道连接；第一风道和第二风道分别设置于高低温老化炉腔外部的对立两侧；第一温度传感器和第...
该专利属于合肥精智达集成电路技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥精智达集成电路技术有限公司授权不得商用。

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