下载一种半导体芯片的镀膜治具的技术资料

文档序号:35657411

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本发明公开了一种半导体芯片的镀膜治具,属于半导体芯片镀膜技术领域,包括镀膜箱,镀膜箱顶部气孔处固定连接有抽真空管,镀膜箱侧壁气孔处固定连接有氩气注气管,镀膜箱顶部前端直孔处密封连接有活动板,活动板顶部安装有磁棒冷却水管道和气压感应器,活动板...
该专利属于陕西理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过陕西理工大学授权不得商用。

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