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一种新型框架MEMS芯片封装方法及其产品技术
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文档序号:35656428
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本发明公开了一种新型框架MEMS芯片封装方法及其产品,该方法包括以下步骤:1)将MEMS芯片和控制芯片安装于基材框架上,所述MEMS芯片的感应区域朝上放置;2)将MEMS芯片和控制芯片与基材框架之间以及MEMS芯片和控制芯片之间进行电性连接...
该专利属于华天科技(西安)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华天科技(西安)有限公司授权不得商用。
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