下载一种掩膜的图形化设备的技术资料

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本实用新型涉及一种掩膜的图形化设备。该图形化设备包括用于承载表面包括掩膜的硅片的承载平台,图形打印组件和控制系统,所述图形打印组件包括光源系统和掩膜版,所述光源系统包括光源,所述掩膜版位于所述光源与所述承载平台之间,所述掩膜版使得所述光源发...
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