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一种脉冲放电辐射源包括气体腔室、窗口和导管系统。该导管系统包括再填充路径和导管。脉冲放电辐射源生成辐射。气体腔室局限在生成辐射期间所产生的气体和污染物。窗口将气体与气体腔室外部的环境隔离，并且允许辐射在气体腔室与环境之间行进。再填充路径允许...
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