下载一种MEMS芯片与ASIC芯片集成封装的封装结构及封装方法的技术资料

文档序号:35583204

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本发明提供MEMS芯片与ASIC芯片集成封装的封装结构及封装方法,包括:转接基板;MEMS芯片,MEMS芯片与转接基板电气联通;ASIC芯片,ASIC芯片靠近MEMS芯片的表面设置有第二焊接凸起,第二焊接凸起与转接基板电连接;封装基板,封装...
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