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本发明提供MEMS芯片与ASIC芯片集成封装的封装结构及封装方法,包括:转接基板;MEMS芯片,MEMS芯片与转接基板电气联通;ASIC芯片,ASIC芯片靠近MEMS芯片的表面设置有第二焊接凸起,第二焊接凸起与转接基板电连接;封装基板,封装...该专利属于合肥领航微系统集成有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥领航微系统集成有限公司授权不得商用。
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