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本申请公开了一种晶圆测试方法及系统,该晶圆测试方法包括:基于设置参数控制待测晶圆与探针接触,以对待测晶圆进行测试;获取测试参数;对测试参数进行分析,判断待测晶圆的测试结果是否异常;响应于是,调整设置参数,利用调整后的设置参数对其余待测晶圆进...该专利属于西安紫光国芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安紫光国芯半导体有限公司授权不得商用。
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