下载一种用于半导体切割的干燥装置的技术资料

文档序号:35514732

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本实用新型公开了一种用于半导体切割的干燥装置,包括装置本体、固定装置、输气装置和调节装置,所述装置本体底部对称设有固定装置,所述固定装置包括支撑块、限位槽、固定块、限位孔、固定螺栓和安装板,所述限位槽内设有输气装置,所述输气装置包括输气管、...
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