下载图像传感器及制作方法的技术资料

文档序号:35507736

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本发明提供一种图像传感器及形成方法,通过于衬底上形成第一外延层;采用碳离子注入工艺于所述第一外延层内形成初始第一吸杂层。碳离子可有效吸附金属离子,通过设置退火温度及退火过程,所述碳离子可以和氧离子之间快速反应并生成碳氧簇团,有效提升对金属离...
该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。

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