下载存储器件、半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:35501517

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本公开提供一种存储器件、半导体结构及其形成方法,涉及半导体技术领域。该形成方法包括:提供衬底,衬底具有阵列区;在阵列区上形成多个间隔分布的位线结构,每个位线结构上均形成有覆盖层,覆盖层的侧壁依次形成有第一绝缘层和第二绝缘层,相邻两个位线结构...
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