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本申请提供一种微机电声波谐振器，涉及射频微机电系统领域，支撑台的上表面开设有台阶沉孔，谐振体位于台阶沉孔内，绕线型减振外框位于台阶沉孔内围绕谐振体设置；输入电极和输出电极分别通过导线与谐振体连接；导线沿着绕线型减振外框的轮廓布设。从而通过曲...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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