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光检测仪分别检测来自退火中的半导体部件的辐射光的、彼此不同的多个波长区域的强度。处理装置根据由光检测仪检测到的多个波长区域的强度来求出因退火而改变的有关半导体部件的物理量。由此，能够在不损伤半导体部件的情况下测量因退火而改变的有关半导体部件...
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