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本申请涉及一种喷镀用材料。具体地，提供一种可形成抗等离子体腐蚀性得到提高的喷镀膜的喷镀用材料。根据此处公开的技术，可提供一种喷镀用材料。该喷镀用材料包含使多个氟化钇微粒一体化而成的复合颗粒。此外，该复合颗粒的压缩强度为5MPa以上。粒的压缩...
该专利属于福吉米株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过福吉米株式会社授权不得商用。

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