下载一种可移动的晶圆设备底座的技术资料

文档序号:35436936

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种可移动的晶圆设备底座,包括晶圆设备主体、支撑底座以及移动组件,移动组件通过支撑底座的左右两侧的液压杆末端与支撑底座上的垂向移动板连接,用于需要对晶圆设备主体移动至需要加工的位置时,通过液压缸的运行,液压杆伸展对垂向移动板...
该专利属于无锡吉源众精密制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡吉源众精密制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。