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真空系统中挥发性有机气体的捕捉系统技术方案
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文档序号:35430762
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本实用新型公开了真空系统中挥发性有机气体的捕捉系统,包括真空泵、第一捕沫器、第二捕沫器、第三捕沫器、第一罗茨泵和第二罗茨泵;第一捕沫器的底部连接有第三阀门且顶部的排气端通过第一阀门连接第一罗茨泵的进气端;其中第一捕沫器的冷却循环夹套的出口连...
该专利属于陈贵华所有,仅供学习研究参考,未经过陈贵华授权不得商用。
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