下载临时键合结构、临时载片及临时键合方法的技术资料

文档序号:35425449

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及一种临时键合结构、临时载片及临时键合方法。所述临时键合结构,包括:临时载片、器件晶圆以及设置于所述临时载片和所述器件晶圆之间的键合胶;所述器件晶圆靠近所述临时载片的一侧设有边缘修剪区;所述临时载片靠近所述器件晶圆的一侧设有蓄胶槽;...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。