温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种多晶硅生产废气处理系统，属于多晶硅废气处理技术领域，包括变压吸附装置，变压吸附装置通过管线I连接解吸缓冲罐，解吸缓冲罐再连接淋洗塔；变压吸附装置通过管线II连接换热器，换热器的液相出口连接回收罐，换热器的气相出口通过管线...
该专利属于内蒙古通威高纯晶硅有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古通威高纯晶硅有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。