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本申请是关于一种光学检测系统、其控制方法、电子设备及存储介质。该系统包括：照明装置、光线传输通道、检测成像设备以及用于放置待测半导体样品的载物台；光线传输通道靠近载物台的一端设有显微物镜组；照明装置中设有入射光源以及光束整形器，光束整形器用...
该专利属于苏州高视半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州高视半导体技术有限公司授权不得商用。

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