温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种高性能的高频薄膜机械波谐振器的制造方法，包括以下步骤：S1、在衬底上的第一表面通过刻蚀形成凹槽结构，并在凹槽结构内沉积第一金属层；S2、在凹槽结构内第一金属层的上表面填充第一牺牲材料层，并将第一牺牲材料层抛光至与衬底的表面相...
该专利属于上海芯波电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯波电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。