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精密设备主动气磁隔振与主动阻尼转运装置制造方法及图纸
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文档序号:35300283
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本发明涉及一种精密设备主动气磁隔振与主动阻尼转运装置,属于转运设备技术领域,其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、高度检测与控制装置和处理器,所述隔振平台支撑被转运设备,还包括主动阻尼单元、限位单元和电磁负刚度隔振单元,所述气浮隔振单...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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