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一种靶材烧结用防蒸发溅射装置制造方法及图纸
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下载一种靶材烧结用防蒸发溅射装置的技术资料
文档序号:35279204
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本实用新型公开了一种靶材烧结用防蒸发溅射装置,包括管道,所述管道右端固定连接有喷射管,所述管道侧壁设有冷却机构,所述冷却机构包括安装板,所述安装板上侧壁固定连接有固定框,所述安装板上侧壁固定连接有循环泵,所述安装板侧壁嵌设有冷凝管,所述循环...
该专利属于上海博译金属有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海博译金属有限公司授权不得商用。
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