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本申请属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种长晶红磷制程用真空防爆管路。所述真空防爆管路包括：与真空管路连接的三通以及三通两侧两个接口所连的连接管路；所述三通，其中两侧的两个接口以及对应的连接管路与现有基台管路连接，上方接口由配套有密封圈...
该专利属于郑州合晶硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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